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氦质谱检漏仪是用氦气为示漏气体的专门用于检漏的仪器,它具有性能稳定、灵敏度高的特点。是真空检漏技术中灵敏度较高,用得较普遍的检漏仪器。
氦质谱检漏仪由离子源、分析器、收集器、冷阴及电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。
1.氦质谱检漏仪采用便携式设计
2.设备外型美观小巧
3.氦质谱检漏仪采用液晶触摸屏设计
4.有通讯接口
5.可以方便地将检漏数据输出